Analysis of electron energy distribution in radio-frequency CF_4 plasma using Monte Carlo method
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- MORI Naoki
- Hokkaido University
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- SUGAWARA Hirotake
- Hokkaido University
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- ARAKITA Daishi
- Hokkaido University
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- EGUCHI Noriyosi
- Hokkaido University
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- SUDA Yoshiyuki
- Hokkaido University
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- SAKAI Yosuke
- Hokkaido University
Bibliographic Information
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- モンテカルロ法による高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布の特性解析
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Journal
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2007 (42), 37-42, 2007-09-13
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1570291225547437952
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- NII Article ID
- 10019761434
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- NII Book ID
- AA11501025
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles
- KAKEN