共焦点型3次元蛍光X線分析装置の開発と微小部深さ方向分析への応用

• 辻 幸一

• 野寺 雄太

• 中野 和彦

Bibliographic Information

Other Title

• キョウショウテンガタ 3ジゲン ケイコウ Xセン ブンセキ ソウチ ノ カイハツ ト ビショウブ フカサ ホウコウ ブンセキ エノ オウヨウ
• Development of confocal 3D X-ray fluorescence instrument and its applications to micro depth profiling
• 第26回表面科学講演大会論文特集(2)
• ダイ 26カイ ヒョウメン カガク コウエン タイカイ ロンブン トクシュウ 2

Journal

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 28 (8), 447-452, 2007-08

  東京 : 日本表面科学会

Keywords

• X-ray fluorescence
• confocal
• 3D
• polycapillary X-ray lense
• depth analysis

Details

• CRID: 1523106605128456320
• NII Article ID: 10019860406
• NII Book ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL BIB ID: 8922348
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8922348
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN