水熱合成PZT多結晶膜を用いた1-40MHz帯超音波トランスデューサ

  • 石河 睦生
    東京工業大学 大学院総合理工学研究科 電子機能システム専攻 黒澤研究室
  • 黒澤 実
    東京工業大学 大学院総合理工学研究科 電子機能システム専攻 黒澤研究室
  • 遠藤 聡人
    桐蔭横浜大学 大学院工学研究科 医用工学専攻
  • 竹内 真一
    桐蔭横浜大学 大学院工学研究科 医用工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • PZT thick film ultrasonic transducer for 1 to 40MHz frequency band

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