パルスレーザー堆積法と表面処理を使った低次元構造の作製とその特性評価

• リップマー ミック

  東京大学物性研究所

書誌事項

タイトル別名

• Pulsed laser deposition and characterization of low-dimensional oxide structures

抄録

遷移金属酸化物は，主にその誘電特性，強誘電性，そして磁気特性のために，さまざまな分野においてマイクロエレクトロニクスへの応用が始まりつつある．現在のアプリケーションでは，アモルファスや多結晶酸化物薄膜が主流である．ここでは，新奇かつ有用な電子物性を有する材料・デバイス開発に新しい道を開くナノ構造ヘテロエピタキシャル酸化物の成長と構造，そして物性の探索について解説する．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 75 (3), 303-308, 2006-03-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• pulsed laser deposition
• transition -metal oxides
• thin films
• growth modes
• superlattices
• nanostructures

詳細情報

• CRID: 1390282752337288448
• NII論文ID: 10020530922
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.75.3_303
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 7863206
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7863206
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7863206
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可