レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスの極微細加工

• 牧村 哲也

  筑波大学 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻

• 内田 智

  筑波大学 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻

• 藤森 隆成

  筑波大学 数理物質科学研究科電子・物理工学専攻

• 新納 弘之

  産業技術総合研究所 光技術研究部門

• 村上 浩一

  筑波大学 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Micromachining of Silica Glass Using Laser Plasma Soft X-rays

収録刊行物

• レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan

  レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 352 21-25, 2006-09-28

キーワード

• nanomachining
• inorganic transparent materials
• laser plasma soft X-rays
• laser produced plasma

詳細情報

• CRID: 1570291225624868352
• NII論文ID: 10020611506
• NII書誌ID: AA11604414
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles
  • KAKEN