ITRS 2007におけるBeyond CMOS材料探索

• 酒井 忠司

  （株)東芝 研究開発センター

書誌事項

タイトル別名

• Beyond CMOS materials survey in ITRS 2007
• ITRS 2007 ニ オケル Beyond CMOS ザイリョウ タンサク

抄録

国際半導体技術ロードマップ（ITRS）に2007年版から新しい章“新探究材料（ERM）”が加わった．ERMのスコープは，半導体にかかわる材料への開発要求を幅広く探索し，材料研究者に示していくことにある．本稿では，2007年版ERMの概要とともに，その中から，本小特集のテーマであるBeyond CMOSデバイスを対象とする新探究デバイス（ERD）関連で取り上げられた材料を中心に紹介する．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 77 (3), 277-280, 2008-03-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• roadmap
• semiconductor
• emerging
• ITRS
• ERM
• ERD
• beyond-CMOS

詳細情報

• CRID: 1390282752337329920
• NII論文ID: 10021108789
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.77.3_277
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 9406845
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9406845
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可