プラズマ中のラジカル制御によるカーボンナノウォールの合成

  • 堀 勝
    名古屋大学大学院 工学研究科 電子情報システム専攻
  • 平松 美根男
    名城大学理工学部電気電子工学科

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication of carbon nanowalls by radical-controlled plasma
  • プラズマチュウ ノ ラジカル セイギョ ニ ヨル カーボン ナノウォール ノ ゴウセイ

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抄録

<p>二次元に広がった厚さ10nm程度のシート状構造体が基板にほぼ垂直に成長するカーボンナノウォールは,立ち並んだグラファイトの薄い壁と,その広い表面積が特徴で,ユニークな構造や良好な電気伝導性・熱伝導性を利用したデバイスへの応用が期待される.これまでに培ったラジカル密度計測・制御技術を生かし,フルオロカーボンプラズマに水素原子を注入するラジカル注入CVDを開発し,カーボンナノウォールの形成を行い,構造の制御を実現した.CVDプロセス中に,プロセスに有効なラジカルを高精度に注入する方式は,ナノテクノロジーの量産化プロセスには有効な技術である.</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 77 (4), 406-410, 2008-04-10

    公益社団法人 応用物理学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (17)*注記

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