書誌事項
- タイトル別名
-
- Fabrication of carbon nanowalls by radical-controlled plasma
- プラズマチュウ ノ ラジカル セイギョ ニ ヨル カーボン ナノウォール ノ ゴウセイ
この論文をさがす
抄録
<p>二次元に広がった厚さ10nm程度のシート状構造体が基板にほぼ垂直に成長するカーボンナノウォールは,立ち並んだグラファイトの薄い壁と,その広い表面積が特徴で,ユニークな構造や良好な電気伝導性・熱伝導性を利用したデバイスへの応用が期待される.これまでに培ったラジカル密度計測・制御技術を生かし,フルオロカーボンプラズマに水素原子を注入するラジカル注入CVDを開発し,カーボンナノウォールの形成を行い,構造の制御を実現した.CVDプロセス中に,プロセスに有効なラジカルを高精度に注入する方式は,ナノテクノロジーの量産化プロセスには有効な技術である.</p>
収録刊行物
-
- 応用物理
-
応用物理 77 (4), 406-410, 2008-04-10
公益社団法人 応用物理学会
- Tweet
キーワード
詳細情報
-
- CRID
- 1390564227312346112
-
- NII論文ID
- 10021109074
-
- NII書誌ID
- AN00026679
-
- ISSN
- 21882290
- 03698009
-
- NDL書誌ID
- 9457836
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可