半導体製造分野における技術の継承と発展

• 中塚 晴夫

  株式会社 フレッジテクノロジー

書誌事項

タイトル別名

• Inheritance and Advancement of Technology in Semiconductor Manufacturing
• ハンドウタイ セイゾウ ブンヤ ニ オケル ギジュツ ノ ケイショウ ト ハッテン

収録刊行物

• 計測と制御

  計測と制御 47 (4), 328-333, 2008-04-10

  公益社団法人 計測自動制御学会

キーワード

• ムーアの法則
• 微細化
• リソグラフィ
• 高誘電率膜技術
• 低誘電率膜技術

詳細情報

• CRID: 1390857158422509824
• NII論文ID: 10021114983
• NII書誌ID: AN00072406
• DOI: 10.11499/sicejl.47.328
• ISSN: 18838170
• ISSN: 04534662
• NDL書誌ID: 9480366
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9480366
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles