最新鋭の半導体工場

• 市村 正也

  名古屋工業大学

• 加藤 正史

  名古屋工業大学

• 小野田 皓司

  名古屋工業大学

• 秋田 貢一

  名古屋工業大学

書誌事項

タイトル別名

• State-of-Art Semiconductor-Memory Factory
• 十見百聞 最新鋭の半導体工場
• ジッケン ヒャクブン サイシンエイ ノ ハンドウタイ コウジョウ

抄録

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収録刊行物

• 電気学会誌

  電気学会誌 128 (5), 278-281, 2008

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering

詳細情報

• CRID: 1390001204996321408
• NII論文ID: 10021129043
• NII書誌ID: AN10432927
• DOI: 10.1541/ieejjournal.128.278
• ISSN: 18814190
• ISSN: 13405551
• NDL書誌ID: 9495680
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9495680
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal/128/5/128_5_278/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可