低角斜め切削法による中間薄膜層の組成分析

• 山崎 秀樹

• 鈴木 良徳

• 飯田 貴之

書誌事項

タイトル別名

• テイカク ナナメ セッサクホウ ニ ヨル チュウカン ハクマクソウ ノ ソセイ ブンセキ
• Compositional analysis of thin intermediate layers in the multilayer films by ultra-low-angle microtomy

収録刊行物

• 日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan : adhesion

  日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan : adhesion 44 (4), 124-131, 2008

  大阪 : 日本接着学会

キーワード

• ultra-low-angle microtomy
• SAICAS
• multilayer film
• compositional analysis

詳細情報

• CRID: 1520290883672275840
• NII論文ID: 10021159605
• NII書誌ID: AN10341672
• ISSN: 09164812
• NDL書誌ID: 9466344
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9466344
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles