最新のエッチング技術とモノづくり　　エッチング技術を駆使した微細なモノづくり

• 式田 光宏

  名古屋大学 大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Overview of Etching Process for Fabricating Microstructures
• エッチング技術を駆使した微細なモノづくり
• エッチング ギジュツ オ クシシタ ビサイナ モノズクリ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 59 (2), 84-87, 2008

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Etching
• Micro-fabrication

詳細情報

• CRID: 1390001204118949504
• NII論文ID: 10021169336
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.59.84
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/09151869
• NDL書誌ID: 9370631
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9370631
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles