プラズマCVD法による歯科金属材料へのTiO2コーティング

  • 丸森 亮太朗
    東北大学大学院歯学研究科 腔修復学講座咬合機能再建学分野
  • 木村 禎一
    東北大学金属材料研究所複合機能材料学部門
  • 後藤 孝
    東北大学金属材料研究所複合機能材料学部門
  • 依田 正信
    東北大学大学院歯学研究科 腔修復学講座咬合機能再建学分野
  • 木村 幸平
    東北大学大学院歯学研究科 腔修復学講座咬合機能再建学分野

書誌事項

タイトル別名
  • Preparation of TiO2 Coating on Dental Metal Materials by Plasma CVD
  • プラズマ CVDホウ ニ ヨル シカ キンゾク ザイリョウ エノ TiO2 コーティング

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抄録

In this study, TiO2 films were prepared on Ag-Pd alloys by Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) using Ti(O-i-Pr)2(dpm)2 precursor. Ag-Pd alloys are widely used as a substrate material of a resin-veneered dental crown. Since an adhesion of a dental resin to the Ag-Pd alloy substrate is poor, protuberances are usually formed on the substrate surface to sustain the mechanical retention. One of the weak points in the resin-veneered dental crown is that a mechanical retention should be indispensable to fix the resin onto the metal frame. Instead of mechanical retention, TiO2 films were prepared on the substrates.<BR>The effects of the deposition conditions on the crystalline phases, microstructures, and color of the deposited films were investigated. As a result, at a substrate pre-heating temperature Tdep=500°C, microwave power PM=2 kW, deposition pressure Ptot=0.4 or 0.7 kPa, the film color changed from black to white, and crystalline phase was anatase. And the microstructure of the film was granular. The grain size was a diameter of about 100 nm. These are optimum deposition conditions.

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参考文献 (25)*注記

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