小山田記念賞 半導体製造装置・薄型ディスプレイ製造装置用基板ホルダーの製造方法開発

• 渡邊 克己

• 福地 昭

• 大内 昌雄

書誌事項

タイトル別名

• オヤマダ キネンショウ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ウスガタ ディスプレイ セイゾウ ソウチヨウ キバン ホルダー ノ セイゾウ ホウホウ カイハツ
• Oyamada Memorial lecture: Development of production method of substrate holder for manufacturing equipments of semiconductor and flat panel display

収録刊行物

• 軽金属

  軽金属 58 (3), 117-122, 2008-03

  東京 : 軽金属学会

キーワード

• forging
• joining
• semiconductor-manufacturing equipment
• flat panel display

詳細情報

• CRID: 1520572358752603520
• NII論文ID: 10021989028
• NII書誌ID: AN00069773
• ISSN: 04515994
• NDL書誌ID: 9440474
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9440474
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles