走査プローブ顕微鏡

  • 森田 清三
    大阪大学大学院 工学研究科 電気電子情報工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Scanning probe microscopy
  • 世界物理年記念 走査プローブ顕微鏡--見果てぬ夢のツール
  • セカイ ブツリネン キネン ソウサ プローブ ケンビキョウ ミハテヌ ユメ ノ ツール
  • −Unlimited dream tool−
  • −見果てぬ夢のツール−

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抄録

<p>波の性質を利用したレンズを使う光学顕微鏡や電子顕微鏡の歴史を最初に簡単に紹介する.次に,レンズを使わず小さいプローブを試料表面に接近させて走査する,走査型トンネル顕微鏡(STM),原子間力顕微鏡(AFM),そして走査近接場光学顕微鏡(SNOM)の発明により,走査プローブ顕微鏡(SPM)の概念ができるまでの歴史を紹介する.最後に,STMやAFMを中心としたSPMの最先端の現状とSPMの将来の動向や夢を紹介する.</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 77 (9), 1049-1058, 2008-09-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (42)*注記

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