Cu超微細配線構造の安定性に及ぼす結晶方位の影響

• 永井 傑朗

• 赤羽 智明

• 篠嶋 妥

Bibliographic Information

Other Title

• Cu チョウビサイ ハイセン コウゾウ ノ アンテイセイ ニ オヨボス ケッショウ ホウイ ノ エイキョウ
• Effects of crystal orientation on the stability of Cu ultra-fine-wire structure

Journal

• 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials

  日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials 72 (9), 698-702, 2008-09

  仙台 : 日本金属学会 ; 1937-

Keywords

• copper ultra-fine-wire
• defect production process
• molecular dynamics simulation
• stability
• crystal orientation

Details

• CRID: 1520853832123404544
• NII Article ID: 10024273191
• NII Book ID: AN00187860
• ISSN: 00214876
• NDL BIB ID: 9639933
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/9639933
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9639933
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN