光学プロファイリングのための波長走査干渉計測

• 日比野 謙一

書誌事項

タイトル別名

• コウガク プロファイリング ノ タメノ ハチョウ ソウサ カンショウ ケイソク
• Optical profiling by wavelength scanning interferometers
• 干渉計測における最近のトピックス
• カンショウ ケイソク ニ オケル サイキン ノ トピックス

収録刊行物

• 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan

  光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 37 (10), 564-569, 2008-10

  東京 : 日本光学会

キーワード

• interferometry
• wavelength scanning
• surface profiling
• semiconductor laser
• phase shifting
• optical thickness
• refractive index

詳細情報

• CRID: 1520572358945328256
• NII論文ID: 10024339562
• NII書誌ID: AN00080324
• ISSN: 03896625
• NDL書誌ID: 9691385
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9691385
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles