ERゲルを用いた電場援用研磨法の開発

• 柿沼 康弘

  慶應義塾大学

• 竹澤 慎吾

  慶應義塾大学

• 青山 藤詞郎

  慶應義塾大学

• 相良 誠

  東芝機械株式会社

• 田中 克敏

  東芝機械株式会社

• 安齊 秀伸

  藤倉化成株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Development of electric field-assisted polishing technology using ERG abrasive pad
• ER ゲル オ モチイタ デンバ エンヨウ ケンマホウ ノ カイハツ

抄録

超精密金型を製作する際の最終工程である研磨加工は熟練技能者の経験に依存しており，技能に依存することなく，切削・研削加工で得た形状精度を損なわず面粗さを向上させる方法が模索されている．これを実現する研磨加工法として，電場や磁場を応用した場援用研磨加工が注目を集めている．本研究では，ER流体を半固体状にしたERゲルを開発し，これを研磨パッドへと応用した新しい研磨加工法を提案した．ERゲルは電界を印加することにより，その表面が滑り特性の高い状態から粘着質な状態に変化する．ERゲル表面に研磨粒子を塗布した研磨パッドと，研磨粒子をERゲルに混入した研磨パッドを試作し，その研磨性能を実験的に解析した．また，静的電場と動的電場を併用した研磨プロセスを提案し，その有効性を調べた．提案したプロセスをステンレス綱の研磨加工に適用した結果，Ra10nm程度の加工面が得られた．

収録刊行物

• 砥粒加工学会誌

  砥粒加工学会誌 52 (12), 712-717, 2008

  社団法人 砥粒加工学会

キーワード

• functional material
• ER fluid
• ER gel
• field assisted fine finishing
• polishing
• abrasive pad

詳細情報

• CRID: 1390001204333121536
• NII論文ID: 130004494449
• NII論文ID: 10024402326
• NII書誌ID: AN10192823
• DOI: 10.11420/jsat.52.712
• ISSN: 18807534
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 9736566
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/9736566
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9736566
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN
  • Crossref
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可