放射光による三次元微細加工技術

• 奥山 浩

  住友電工

• 羽賀 剛

  住友電工

• 筒井 康充

  住友電工

• 高田 博史

  住友電工

書誌事項

タイトル別名

• Three-Dimensional Microfabrication Process Using Synchrotron Radiation

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会

  電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 1998 (1), 29-34, 1998-01-26

キーワード

• 小型SR光源
• LIGAプロセス
• ディープX線リソグラフィ
• 三次元微細加工

詳細情報

• CRID: 1573387450487805952
• NII論文ID: 10024736889
• NII書誌ID: AN00140211
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles