振動型接触プローブを用いた表面走査コントローラによる形状計測手法

• 増井 陽二

• 三好 孝典

• 寺嶋 一彦

書誌事項

タイトル別名

• シンドウガタ セッショク プローブ オ モチイタ ヒョウメン ソウサ コントローラ ニ ヨル ケイジョウ ケイソク シュホウ
• A novel shape measurement method using bilateral vibration touch probe

収録刊行物

• 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 45 (2), 83-90, 2009-02

  東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-

キーワード

• shape measurement
• piezo-element
• nonlinear control

詳細情報

• CRID: 1520290884251867904
• NII論文ID: 10024757814
• NII書誌ID: AN00072392
• ISSN: 04534654
• NDL書誌ID: 10185834
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10185834
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles