加工用AFMカンチレバーによるLSI多重層の単一層除去加工

• 小森 圭悟

• 森田 昇

• 高野 登

Bibliographic Information

Other Title

• カコウヨウ AFM カンチレバー ニ ヨル LSI タジュウソウ ノ タンイツソウ ジョキョ カコウ
• Removal of a single layer from multiple layers in LSI using machining cantilever in AFM

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 53 (6), 385-387, 2009-06

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• LSI
• AFM
• cantilever
• flexural rigidity
• removal of simple layer

Details

• CRID: 1520009408633385984
• NII Article ID: 10024777848
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 10321531
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10321531
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles