キャピラリーアレイを用いたガスドーズにおける問題点

• 杉本 敏樹

  東京大学生産技術研究所

• 岡野 達雄

  東京大学生産技術研究所 CREST-JST

• 福谷 克之

  東京大学生産技術研究所 CREST-JST

書誌事項

タイトル別名

• Problem of Gas Dose with Micro-Capillary Array
• キャピラリー アレイ オ モチイタ ガスドーズ ニ オケル モンダイテン

抄録

  We have developed a Micro-Capillary-Array (MCA) Beam Doser in order to dose a collimated molecular beam. Whereas the response of the chamber pressure was fast in the dosage of N₂, D₂ and Ar, the pressure response to the NO dosage was slow with a delay of about 5 s. When gases pass through an MCA with a large length to radius ratio as a free molecular flow, they repeatedly collide with the MCA walls. It was found that gases that have a small residence time (τ) pass through the MCA without substantial delay. On the other hand, those with large τ reveal a delayed flow, and it takes a few seconds to attain a steady-state flow.<br>

収録刊行物

• Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ

  Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ 52 (3), 141-144, 2009

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Spectroscopy
• Surfaces and Interfaces
• Instrumentation
• General Materials Science

詳細情報

• CRID: 1390001205295140352
• NII論文ID: 10024897857
• NII書誌ID: AA12298652
• DOI: 10.3131/jvsj2.52.141
• ISSN: 18824749
• ISSN: 18822398
• NDL書誌ID: 10256368
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10256368
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10256368
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可