DCマグネトロンスパッタ法により作製したAlドープZnO薄膜の熱拡散率測定

• 木村 健太郎

  青学大理工

• 八木 貴志

  産総研

• 竹歳 尚之

  産総研

• 馬場 哲也

  産総研

• 岡 伸人

  青学大理工

• 佐藤 泰史

  青学大理工

• 重里 有三

  青学大理工

書誌事項

タイトル別名

• THERMAL DIFFUSIVITY OF Al-DOPED ZnO THIN FILMS DEPOSITED BY DC MAGNETRON SPUTTERING

収録刊行物

• Thermophysical properties

  Thermophysical properties 30 16-18, 2009-10-27

詳細情報

• CRID: 1572261550776199424
• NII論文ID: 10025412540
• NII書誌ID: AN10370091
• ISSN: 09111743
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles