酸化チタンナノシートを用いた新規誘電体薄膜の合成

• 佐々木 高義

  (独)物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点

• 長田 実

  (独)物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of titania nanosheet films with superior dielectric properties
• サンカ チタン ナノシート オ モチイタ シンキ ユウデンタイ ハクマク ノ ゴウセイ

抄録

層状チタン酸化物を単層はく離して得られる酸化チタンナノシートを溶液プロセスによりレイヤーバイレイヤー累積し，高品位多層ナノ薄膜を形成した．得られた薄膜は厚さ10 nm前後の極薄領域でも120を超える比誘電率を示すとともに，リーク電流も10^-7 A/cm² 以下ときわめて高い絶縁性を発揮し，ナノレベルの厚みで機能する新規誘電体薄膜として期待される．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 78 (10), 947-954, 2009-10-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• titania nanosheet
• exfoliation
• layer-by-layer assembly
• solution process
• ultrathin multilayer film
• high-k dielectric nanofilm
• size-effect free
• interface engineering
• dead-layer free

詳細情報

• CRID: 1390564227308999168
• NII論文ID: 10025519150
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.78.10_947
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 10454342
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10454342
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可