終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御

• 城所 隆弘

• 平田 光男

• 上田 伸治

書誌事項

タイトル別名

• シュウタン ジョウタイ セイギョ ニ ヨル ガルバノ スキャナ ノ ナノスケール サーボ セイギョ
• Nanoscale servo control for Galvano scanner using final-state control
• 産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御技術
• サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ナノスケール サーボ ノ タメノ セイギョ ギジュツ

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]

  電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2008 (161-170), 43-48, 2008-09-12

  東京 : 電気学会

キーワード

• 終端状態制御
• ナノスケールサーボ制御
• ガルバノスキャナ
• Final-State Control
• Nanoscale Servo Control
• Galvano Scanner

詳細情報

• CRID: 1520853834982307456
• NII論文ID: 10025654870
• NII書誌ID: AN10074226
• NDL書誌ID: 9662491
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9662491
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles