薄膜ピラニ真空センサの温度差検出による改良

• 高嶋 徳明

  東北学院大学

• 木村 光照

  東北学院大学

書誌事項

タイトル別名

• Improvement of the Thin Film Pirani Vacuum Sensor using Temperature Difference Detection Method

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2008 (7), 1-4, 2008-06-12

キーワード

• 温度センサ
• ダイオード
• 半導体
• MEMS
• 交流信号
• 真空センサ
• ピラニゲージ
• 熱電対
• 電流検出

詳細情報

• CRID: 1572824500752753280
• NII論文ID: 10025665311
• NII書誌ID: AA11486078
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles