Development of the Atmospheric Pressure Plasma Jet with Nano-Capillary Structure And Application to Ultrafine Process
-
- KAKEI Ryota
- Shizuoka University
-
- OGINO Akihisa
- Shizuoka University
-
- IWATA Futoshi
- Shizuoka University
-
- NAGATSU Masaaki
- Shizuoka University
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ナノキャピラリー構造を有する大気圧プラズマジェットの開発と超微細プロセスへの応用
Search this article
Journal
-
- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
-
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2008 (98), 35-39, 2008-12-20
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1570291225962184448
-
- NII Article ID
- 10025667614
-
- NII Book ID
- AA11501025
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- CiNii Articles