精密ステージの構造に基づくナノスケールサーボ--共振モードを考慮したマルチレートPWM位置制御の提案

• 坂田 晃一

• 藤本 博志

書誌事項

タイトル別名

• セイミツ ステージ ノ コウゾウ ニ モトズク ナノスケールサーボ キョウシン モード オ コウリョ シタ マルチレート PWM イチ セイギョ ノ テイアン
• Nanoscale servo based on mechanism for precision stage: proposal of multirate PWM positioning control considering resonance mode
• 産業計測制御研究会 計測・センサ応用,モーションコントロール全般
• サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ケイソク センサ オウヨウ モーションコントロール ゼンパン

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]

  電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2009 (90-111), 59-64, 2009-03-10

  東京 : 電気学会

キーワード

• 精密ステージ
• 位置決め
• マルチレート制御
• PWMホールド
• 制振制御
• precision stage
• positioning
• multirate control
• PWM hold
• vibration suppression control

詳細情報

• CRID: 1520572360003153664
• NII論文ID: 10026068857
• NII書誌ID: AN10074226
• NDL書誌ID: 10247049
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10247049
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles