最先端電子顕微鏡による局所構造・組成評価 Advanced electron microscopy for integrated local analysis

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抄録

<p>電子顕微鏡は,物質・材料の局所構造評価法として強力な手法であり,近年の球面収差補正技術の急速な進歩とも相まってその分解能は格段に向上している.本稿では,特にその進展が著しい走査型透過電子顕微鏡法(STEM)に着目し,基本的な結像や分光分析の原理を実際の観察例とともに述べる.</p>

<p>Transmission electron microscopy plays an important key role in the microstructural analysis of materials, and the recent development of a spherical-aberration corrector makes it possible to achieve resolution approaching the sub-Å scale. We describe a state-of-the-art electron microscopy by focusing on scanning transmission electron microscopy (STEM), which provides incoherent Z-contrast atomic images, energy-dispersive x-ray spectroscopy (EDS) and electron energy-loss spectroscopy (EELS) at the same local region even at sub-nanometer scale.</p>

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 79(4), 293-297, 2010-04-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献:  12件中 1-12件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10026199618
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    10651575
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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