酸素プラズマ処理によるシリコン添加DLC膜の低摩擦化

• Junho Choi

• 角田 篤史

• 熊谷 知久

Bibliographic Information

Other Title

• サンソ プラズマ ショリ ニ ヨル シリコン テンカ DLC マク ノ テイマサツカ
• Low friction properties of Si-incorporated DLC coatings treated with oxygen plasma

Journal

• トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編

  トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 54 (11), 783-791, 2009

  東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-

Keywords

• diamond-like carbon
• silicon oxide
• oxygen plasma
• transferred film
• low friction

Details

• CRID: 1520853832077919360
• NII Article ID: 10026245704
• NII Book ID: AN10056166
• ISSN: 09151168
• NDL BIB ID: 10496113
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10496113
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN