シャンティングアークの並列駆動と炭素成膜

• 高木 浩一

  岩手大学

• 青木 宏憲

  岩手大学

• 村上 貴之

  岩手大学

• 向川 政治

  岩手大学

• 藤原 民也

  岩手大学

• 行村 建

  同志社大学

書誌事項

タイトル別名

• Parallel Operation of Shunting Arc Discharges and Preparation of Carbon Film

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2009 (41), 59-64, 2009-08-07

キーワード

• シャンティングアーク
• プラズマイオン注入
• DLC膜
• Ti

詳細情報

• CRID: 1572261549897063424
• NII論文ID: 10029076158
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles