電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用
書誌事項
- タイトル別名
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- Electro-magnetically Dual-axis Driven MEMS Grating, and its Application to 3D Surface Profiling with Near Infrared Low Coherence Optical Interferometry
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会
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電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2011 (1), 47-50, 2011-07-01
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573105974834514944
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- NII論文ID
- 10029355834
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- NII書誌ID
- AA11471751
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles