ミニマルファブによる半導体工場イノベーション

• 原 史朗

• 前川 仁

• 池田 伸一

書誌事項

タイトル別名

• ミニマルファブ ニ ヨル ハンドウタイ コウジョウ イノベーション
• Innovation of semiconductor factory by creating minimal fab
• 特集 工業用クリーンルームの最新動向
• トクシュウ コウギョウヨウ クリーンルーム ノ サイシン ドウコウ

収録刊行物

• 空気清浄 : コンタミネーションコントロール

  空気清浄 : コンタミネーションコントロール 49 (2), 8-15, 2011

  東京 : 日本空気清浄協会

キーワード

• ミニマルファブ
• minimal fab
• 局所クリーン化生産システム
• encapsulated production system
• EPS
• ミニマルマニュファクチャリング
• minimal manufacturing
• クリーンルーム
• clean room

詳細情報

• CRID: 1522825130213702784
• NII論文ID: 10029530850
• NII書誌ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• NDL書誌ID: 11210235
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I11210235
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles