TEM Sample Preparation Using FIB

• SASAKI Hirokazu

  古河電工(株)横浜研究所

• KATO Takeharu

  (財)ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所

• MATSUDA Takeyoshi

  古河電工(株)横浜研究所

• HIRAYAMA Tsukasa

  古河電工(株)横浜研究所

Bibliographic Information

Other Title

• FIBを用いたTEM試料作製技術

Journal

• 顕微鏡 = Microscopy

  顕微鏡 = Microscopy 46 (3), 188-194, 2011-09-30

Keywords

• FIB
• 化合物半導体
• セラミックス
• 高分解能像
• 電子線ホログラフィー

Details

• CRID: 1572543024909439872
• NII Article ID: 10029694888
• NII Book ID: AA11917781
• ISSN: 13490958
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles
  • KAKEN