熱フィラメントCVD法で堆積したダイヤモンド薄膜の構造と二次電子放出係数

• 村上 雅彦

• 山口 聡

• 高畠 信也

Bibliographic Information

Other Title

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• Structure and Secondary Electron Emission Coefficient of Diamond Films Deposited by Hot-filament CVD

Journal

• 照明学会誌 = Journal of the Illuminating Engineering Institute of Japan

  照明学会誌 = Journal of the Illuminating Engineering Institute of Japan 96 (5), 293-297, 2012-05

  東京 : 照明学会

Keywords

• hot-filament CVD
• diamond thin film
• breakdown voltage
• secondary electron
• photoacoustic method

Details

• CRID: 1520290882739241984
• NII Article ID: 10030142564
• NII Book ID: AN00268860
• ISSN: 00192341
• NDL BIB ID: 023753820
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023753820
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN32(科学技術--電気工学・電気機械工業--電力)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles