Mo-Siミラーの光洗浄と光脱離分析評価 Photon-Stimulated Desorption Mass Spectroscopy of a Mo-Si EUV Mirror Contaminants and Its Cleaning by Ar Excimer Light Irradiation

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収録刊行物

  • レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan

    レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 420, 31-35, 2011-12-08

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10030151332
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604414
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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