液相法による積層セラミックコンデンサー用銅ならびにニッケル膜の調製 Wet Chemical Preparation of Copper and Nickel Films for Multi-Layered Ceramic Capacitor

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

    • 佐藤 洋 SATO Hiroshi
    • 秋田大学工学資源学部 環境応用化学科 Faculty of Engineering and Resource Science, Akita University
    • 泰良 知 TAIRA Tomo
    • 秋田大学工学資源学部 環境応用化学科 Faculty of Engineering and Resource Science, Akita University

抄録

卑金属電極型積層セラミックコンデンサー(Base-Metal-Electrode Multi-layer Ceramic Capacitors, BME-MLCCs)の端部電極に適用可能な,薄くかつ緻密な銅およびニッケル金属膜を低温で得ることを目的として,有機金属化合物を出発原料とし液相法により金属膜前駆体を調製した.そしてこの前駆体の熱処理に伴う化学形態や形状の変化を調べた.前駆体を窒素気流中,200℃から300℃で加熱処理することにより,銅およびニッケルの単金属膜ならびに合金膜を得ることができた.溶媒として用いたテトラエチレングリコールの量が,酢酸銅一水和物および酢酸ニッケル四水和物に対して3 molから4 mol添加したときに緻密な金属膜が得られた.また銅前駆体とニッケル前駆体の混合比を変えることにより,銅ニッケル合金膜の組成を任意に制御できることが明らかとなった.MLCC端部に前駆体を塗布して熱処理を行ったところ,内部電極中への銅の拡散およびBaTiO<sub>3</sub>層でのクラックの生成なしに,均一かつ薄いBME-MLCCsの端部電極を500℃で形成しうることがわかった.

In order to synthesize thin and dense films of metallic copper and nickel for base metal electrode type multilayered ceramic capacitor BME-MLCC at low temperature, changes of chemical forms and morphology were investigated for wet chemically derived precursors from copper acetate monohydrate and nickel acetate tetra-hydrates during heat treatments. Mono and bimetallic films of copper and nickel could be prepared from the precursors by heat treatments at the temperatures from 200 to 300°C in a nitrogen stream. The optimum amount of tetra-ethylene glycol as a solvent in the wet chemical preparation was 3–4 mol per one mol of copper acetate monohydrate or nickel acetate tetra-hydrates. The content of each metal in the copper–nickel alloy film could be easily controlled by changing the mixing ratio of the precursors of copper and nickel. The precursors of mono and bimetallic films were coated to the terminal of multi-layered ceramic capacitor and heated at 500°C in a nitrogen stream. Uniform and thin terminal electrode was obtained successfully with no appreciable diffusion of copper into the inner electrode and cracks in the BaTiO<sub>3</sub> layers. The wet chemically derived precursors promise to be desirable terminal electrode of base metal electrode type multilayer ceramic capacitor BME-MLCC at low temperature heat treatment.

収録刊行物

  • 化学工学論文集 = Kagaku kogaku ronbunshu

    化学工学論文集 = Kagaku kogaku ronbunshu 38(1), 117-122, 2012-03-20

    公益社団法人 化学工学会

参考文献:  16件中 1-16件 を表示

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

  • 優秀論文賞2012

    宍戸 昌広 , 本多 裕之

    化学工学論文集 = Kagaku kogaku ronbunshu 39(3), 265-266, 2013-07-20

    J-STAGE 参考文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10030160594
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037234
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    0386216X
  • NDL 記事登録ID
    023619184
  • NDL 請求記号
    Z17-725
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
ページトップへ