Crystallization of amorphous-Si films by pulsed YAG2ω green laser for polycrystalline Si TFT fabrication

被引用文献1件

収録刊行物

  • J. SID

    J. SID 13 823-827, 2005

被引用文献 (1)*注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1572261550641002624
  • NII論文ID
    10030190133
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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