3次元レーザ光散乱によるナノ加工表面性状の測定評価

• 高谷 裕浩

Bibliographic Information

Other Title

• 3ジゲン レーザコウ サンラン ニ ヨル ナノ カコウ ヒョウメン セイジョウ ノ ソクテイ ヒョウカ
• Nano-machined surface inspection based on three dimensional laser light scattering
• 特集 加工面の高精度計測・分析技術の最先端
• トクシュウ カコウメン ノ コウセイド ケイソク ・ ブンセキ ギジュツ ノ サイセンタン

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 55 (12), 697-700, 2011-12

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• laser scattering
• total integrated scattering
• total angle resolved scattering
• surface inspection
• lens mold

Details

• CRID: 1520572358320759680
• NII Article ID: 10030194459
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 023348456
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023348456
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles