3次元レーザ光散乱によるナノ加工表面性状の測定評価 Nano-machined surface inspection based on three dimensional laser light scattering

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収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 55(12), 697-700, 2011-12-01

    砥粒加工学会

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10030194459
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    023348456
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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