ニオブ酸リチウムの延性モード切削に関する研究 Ductile mode cutting of lithium niobate

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抄録

この論文では表面弾性波型マイクロポンプに用いられるニオブ酸リチウムを,直接切削により溝加工したときの切削特性について述べる.ニオブ酸リチウムは強い結晶方位依存性を持つ脆性材料であることから,切削方向を変化させると仕上げ面性状に大きな違いが見られたが,多くの切削方向において約5μm以下の切込みで延性モード切削が可能であることがわかった.また,エンドミルを用いたミーリング加工を行いニオブ酸リチウムの切削加工による微細溝加工が可能となった.さらに,切削加工溝によるSAWの粉体輸送実験を行い粉体の移動が確認された.

This paper describes the cutting characteristics of lithium niobate, which is used for surface acoustic wave type micro pumps, with regard to the formation of micro grooves by direct cutting. As lithium niobate is a brittle material with strong crystal orientation dependency, significant differences were observed in the characteristics of the finished surface with different directions of cutting. The ductile mode cutting of lithium niobate was found to be feasible with cutting depths of approx. 5μm or less. In addition, results of the study indicated the feasibility of the formation of minute grooves through cutting of lithium niobate using milling with an end mill.

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 56(2), 118-123, 2012-02-01

    社団法人 砥粒加工学会

参考文献:  14件中 1-14件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10030194713
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    023510615
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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