クラスターイオンビーム技術の開発,半導体からバイオ材料まで

• 山田 公

Bibliographic Information

Other Title

• クラスターイオンビーム ギジュツ ノ カイハツ,ハンドウタイ カラ バイオ ザイリョウ マデ
• Development of Cluster Ion Beam Technology : Applications from Semiconductors to Biomaterials
• 特集 医療機器における表面修飾技術の応用
• トクシュウ イリョウ キキ ニ オケル ヒョウメン シュウショク ギジュツ ノ オウヨウ

Journal

• 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌

  材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌 48 (6), 272-277, 2011

  東京 : 日本材料科学会 ; 2002-

Keywords

• クラスターイオン
• イオン注入
• スパッタ
• 表面改質

Details

• CRID: 1520009407227718912
• NII Article ID: 10030278790
• NII Book ID: AA11602237
• ISSN: 13474774
• NDL BIB ID: 023446433
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023446433
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles