シリコンゴム製ねじりばねを用いた光スキャナ用振動アクチュエータの検討

書誌事項

タイトル別名
  • シリコンゴムセイネジリバネ オ モチイタ ヒカリ スキャナヨウ シンドウ アクチュエータ ノ ケントウ
  • Examination of Oscillatory Actuator for Optical Scanner Using Torsion Spring Made of Silicon Rubber
  • モータドライブ リニアドライブ合同研究会・モータドライブ一般,リニアドライブー般
  • モータドライブ リニアドライブ ゴウドウ ケンキュウカイ ・ モータドライブ イッパン,リニアドライブーパン

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