微細加工技術と将来のめっき技術 Prospects of Electroforming for Precise Microfabrication Technology

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

    • 服部 正 HATTORI Tadashi
    • 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 Laboratory of Advanced Science & Technology for Industry, University of Hyogo

収録刊行物

  • 表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan 62(12), 619-624, 2011-12-01

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献:  20件中 1-20件 を表示

  • <no title>

    服部正

    溶接学会誌 71(3), 5, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    服部正

    電気学会センサ マイクロマシン準部門誌 126(6), 211, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    服部正

    日本設備管理学会誌 16(1), 1, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    中島尚正

    LIGAプロセス : 進展する三次元超微細加工技術, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    BECKER E. W.

    Microelectron Eng. 4, 35, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    EHRFELD W.

    Radiat. Phys. Chem. 45(3), 340, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    SIMADA O.

    JSME Int. J. Series A 49(1), 74, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    IDEI K.

    JSME Int. J. Series A 49(1), 69, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    UTSUMI Y.

    Proc. Int. Conf. on Electrical Eng. (ICEE 2004) 608, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    出井一義

    日本機械学会第4回機素潤滑設計部門講演会講演論文集, 2004 69, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    山崎徹

    表面技術 55, 242, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    KIMURA T.

    Proceedings of the 22nd Sensor Symposium, 2005 17, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    服部正

    表面技術 61(10), 20, 2010

    被引用文献1件

  • <no title>

    NODA D.

    Proceedings of the 2007 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science 436, 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    NODA D.

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing 2, 174, 2008

    被引用文献1件

  • <no title>

    NODA D.

    Journal of The Electrochemical Society 156, 299, 2009

    被引用文献1件

  • <no title>

    NODA D.

    Proceeding of Asme 2010 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, 2010

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOMOSE A.

    Jpn. J. Appl. Phys. 42, L866, 2003

    被引用文献1件

  • 無電解ニッケル-ホウ素めっきによる高硬度マイクロ金型の作製 ([日本設備管理学会]20周年記念大会特集論文)

    佐和 吉敬 , 山下 健治 , 北谷 武

    日本設備管理学会誌 21(2), 21-25, 2009-09

    被引用文献3件

  • Recent Advances in X-ray Phase Imaging

    Momose Atsushi

    Jpn J Appl Phys 44(9A), 6355-6367, 2005-09-15

    応用物理学会 J-STAGE 被引用文献22件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10030475686
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    023357591
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ