多角バレルスパッタリング法を用いた新しい表面修飾技術

• 阿部 孝之

  富山大学 水素同位体科学研究センター

• 井上 光浩

  富山大学 水素同位体科学研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Novel Surface Modification Process by the Polygonal Barrel-Sputtering Method
• タカク バレルスパッタリングホウ オ モチイタ アタラシイ ヒョウメン シュウショク ギジュツ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 62 (12), 676-, 2011

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Polygonal Barrel-Sputtering Method
• Dry Process
• Surface Modification
• Zero-
• One-
• Three-Dimensional Materials
• Functional Materials

詳細情報

• CRID: 1390282679095288704
• NII論文ID: 10030475993
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.62.676
• COI: 1:CAS:528:DC%2BC38XhtVKhs7Y%3D
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 023357811
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023357811
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles