アークイオンプレーティング法によるITO膜の内部応力に及ぼす結晶化の影響

• 小島 啓安

• 齋藤 永宏

• 高井 治

書誌事項

タイトル別名

• アークイオンプレーティングホウ ニ ヨル ITOマク ノ ナイブ オウリョク ニ オヨボス ケッショウカ ノ エイキョウ
• Effects of Crystallization on Internal Stress of ITO Films

収録刊行物

• 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan

  表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 63 (4), 272-274, 2012-04

  東京 : 表面技術協会

キーワード

• Inter Stress
• Crystallization
• ITO Film

詳細情報

• CRID: 1520290882325282048
• NII論文ID: 10030575392
• NII書誌ID: AN1005202X
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 023672501
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023672501
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles