低気圧マイクロ波放電水素プラズマの非平衡性に関する分光学的研究

• 清水 良浩

  東京工業大学

• 根津 篤

  東京工業大学

• 松浦 治明

  東京工業大学

• 赤塚 洋

  東京工業大学

書誌事項

タイトル別名

• Spectroscopic Study on Non-equilibrium of Low-pressure Microwave-Discharge Hydrogen Plasma

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2012 (1), 19-24, 2012-05-10

キーワード

• 低温水素プラズマ
• マイクロ波放電
• 振動回転温度
• 解離度
• 衝突輻射モデル
• 電子エネルギー分布関数

詳細情報

• CRID: 1572543025686024192
• NII論文ID: 10030604672
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles