クリーンルームのオゾンガス滅菌を目的としたオゾンガスに対する各種建築・設備材料の耐性評価

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  • クリーンルーム ノ オゾンガス メッキン オ モクテキ ト シタ オゾンガス ニ タイスル カクシュ ケンチク ・ セツビ ザイリョウ ノ タイセイ ヒョウカ
  • Evaluation of the Tolerance of Construction and Equipment Materials to Ozone Gas Exposure in the Ozone Gas Sterilization of Cleanrooms

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