有機薄膜トランジスタ(TFT)を利用したMEMS加速度センサ
書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS accelerometer using organic thin film transistor
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会
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電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2012 (1), 105-108, 2012-06-11
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572824500651032832
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- NII論文ID
- 10030777469
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- NII書誌ID
- AA11471751
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles