硬脆材料の超精密加工を可能とする超精密旋盤の開発 Development of an ultra-precision lathe for hard brittle materials

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

抄録

ガラス,セラミックスなどに代表される硬脆材料の機械加工を実現するためには,工具・工作物間の切込み深さ(切取り厚さ)を延性・脆性遷移点(d<sub>c</sub>値)以下にしなければならない.本論文ではガラスの延性モード切削の実現を目指した超精密旋盤の開発について述べる.ガラスの延性モード切削を実現するためには,数~数十nmレベルの位置決め分解能と運動精度,および高い剛性と安定性が必要となる.上記性能を有する装置に必要な技術を明らかにするために超精密旋盤の自作を試みた.基本要素の開発や既存技術の組合せによってガラスの延性モード切削が可能な超精密旋盤の開発に成功した.

Glass and ceramics are typically hard, brittle materials, so if the depth of cut is less than the ductile/brittle transition critical depth, dc, it can be machined in a ductile mode. This paper describes the development of an ultra-precision lathe to achieve ductile mode cutting of glass. To achieve ductile mode cutting of glass, the machine tool must have positioning resolution and motion accuracy at the level of several tens of nm with high rigidity and high stability. We developed an ultra-precision lathe to clarify the techniques necessary to achieve the above performance. We examined combinations of existing technologies and developed basic elements. Finally, we succeeded in the development of an ultra-precision lathe that can machine glass in ductile mode.

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 56(8), 552-559, 2012-08-01

    社団法人 砥粒加工学会

参考文献:  25件中 1-25件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10030943527
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    023914979
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ