HOLZ線図形をもちいたSiGe/Si界面近傍の格子湾曲および伸張歪みの解析 Characterization of Bending and Expansion of a Lattice of a Si Substrate Near a SiGe/Si Interface by Using Split HOLZ Line Patterns

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著者

    • 齋藤 晃 SAITOH Koh
    • 名古屋大学エコトピア科学研究所 EcoTopia Science Institute, Nagoya University

収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 51(8), 371-378, 2012-08-01

    The Japan Institute of Metals and Materials

参考文献:  24件中 1-24件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10030953805
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    13402625
  • NDL 記事登録ID
    023926277
  • NDL 請求記号
    Z17-313
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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