レーザープロセスによる液中分散粒子を原料とした球状粒子合成 ―炭化ホウ素サブミクロン球状粒子の場合―

  • 石川 善恵
    香川大学 工学部 材料創造工学科
  • 越崎 直人
    産業技術総合研究所 ナノシステム研究部門 フィジカルナノプロセスグループ

書誌事項

タイトル別名
  • Submicrometer Spherical Particle Fabrication by Pulsed Laser Melting in Liquid -Boron Carbide Submicrometer Spherical Particle Case-
  • レーザープロセス ニ ヨル エキ チュウ ブンサン リュウシ オ ゲンリョウ ト シタ キュウジョウ リュウシ ゴウセイ : タンカ ホウソ サブミクロン キュウジョウ リュウシ ノ バアイ

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抄録

We have developed a new fabrication technique for submicrometer spherical particles by pulsed laser melting in liquid. In this technique, nanosecond pulsed laser irradiation at relatively low fluence to nanoparticles dispersed in liquid induces particle melting to form droplets, resulting in spherical particle formation by quenching. Here we demonstrate an example of boron carbide spherical particle fabrication by this method, investigate the effect of processing parameters, and discuss the formation mechanism through the simple particle heating/melting model, which is completely different from the mechanism in the conventional pulsed laser ablation in liquid. This process can also be applied for submicrometer spherical particles of various materials, such as metals, oxides, and semiconductors.

収録刊行物

  • 粉体工学会誌

    粉体工学会誌 49 (8), 614-621, 2012

    一般社団法人 粉体工学会

参考文献 (32)*注記

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